KONSTRUKSI DAN UJI FUNGSI SISTEM EKSTRAKSI BERKAS ELEKTRON

KONSTRUKSI DAN UJI FUNGSI SISTEM EKSTRAKSI BERKAS ELEKTRON. Telah dilakukan
konstruksi dan uji fungsi sistem ekstraksi berkas elektron. Plasma terbentuk pertama kali karena
terjadinya spot pada elektroda ignitor dan kemudian plasma dihamburkan di dalam bejana plasma oleh
elektroda generator plasma. Arus elektron di dalam bejana plasma sebesar I
B
= 119 A, lebar pulsa t =
84 s, dan sistem ekstraksi mempunyai komponen C = 7,14F dengan R
C
= 1,22 kdan R
D
= 10 
/2,6 kW. Tujuan konstruksi dan uji fungsi ini adalah untuk memperoleh berkas elektron keluar dari grid
elektroda generator plasma. Tegangan ekstraksi divariasi mulai 500 V, 1000 V, 1500 V, 2000 V, 2500
V dan 3000 V, sedangkan pengukuran arus berkas elektron dilakukan dengan menggunakan koil
Rogowski dan Faraday Cup. Diperoleh arus berkas elektron sebesar 5,72; 9,54; 16,2; 22,9; 28,6, 34,3
A menggunakan koil Rogowski dan sebesar 8,8; 11,2; 14; 14,8; 15,2, 17,2 A menggunakan Faraday
Cup. Dari hasil pengukuran tersebut dapat disimpulkan bahwa SEKP berfungsi dengan baik dan dapat
digunakan lebih lanjut khususnya untuk MBE pulsa.