KAJIAN SIFAT BAHAN LAPISAN TIPIS FEROMAGNETIK NixFe1-x HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK EVAPORASI HAMPA

KAJIAN SIFAT BAHAN LAPISAN TIPIS FEROMAGNETIK NIXFE1-X HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK EVAPORASI HAMPA. Telah dilakukan kajian sifat bahan lapisan tipis feromagnetik NixFe1-x hasil deposisi dengan teknik evaporasi hampa. Kajian sifat bahan meliputi analisis komposisi bahan menggunakan metode XRF, resistivitas bahan lapisan tipis pada suhu kamar, dan transisi fase bahan lapisan tipis NixFe1-x. Hasil analisis dengan metode XRF diketahui bahwa komposisi lapisan yang terbentuk pada permukaan substrat relatif sama dengan komposisi bulk material yang dievaporasikan. Pengukuran resistivitas dengan metode probe empat titik menunjukkan bahwa nilai resistivitas tergantung pada ketebalan dan komposisi bahan, serta resistivitas yang diperoleh jauh lebih besar dibandingkan dengan resistivitas bulk material. Suhu transisi atau suhu Curie Tc yang diperoleh memperlihatkan ketergantungannya terhadap komposisi bahan.