OPTIMASI UJI KINERJA OPERASI PROTOTIP LITBANG MBE-PSTA PADA 200 KEV

OPTIMASI UJI KINERJA OPERASI POTOTIP LITBANG MBE-PSTA PADA 200 keV. Telah dilakukan
optimasi uji kinerja operasi prototip litbang MBE-PSTA dengan mengoptimasi komponen utama transport
MBE-PSTA meliputi sumber elektron, sistem optik, dan vakum pada tegangan operasi STT-MBE 200 kV.
Optimasi dengan cara memodifikasi sumber elektron dan sistem optik, dilanjutkan pengukuran profil berkas
elektron, dan uji kinerja MBE-PSTA pada tegangan operasi 200 kV untuk berbagai arus filamen sumber
elektron serta uji kehandalannya. Hasil pengujian profil berkas elektron MBE-PSTA menunjukkan bahwa
profil berkas elektron dapat dimayarkan di tengah-tengah jendela Ti dengan nisbah keseragaman dosis
Dmin/Dmax sebesar 65%. Sedangkan hasil uji kinerja operasi MBE-PSTA menunjukkan bahwa makin besar
arus filamen sumber elekron maka keluaran arus berkas elektron membesar secara gradual untuk interval
tegangan variak 54 – 80 V, kemudian menaik drastis ekponensial untuk tegangan variak di atas 80 V.
Kenaikan arus berkas menyebabkan tingkat kevakuman menurun karena adanya outgassing dari jendela Ti
yang diperlihatkan adanya burning spot pada jendela. Hal ini dibuktikan pada operasi MBE-PSTA dengan
keluaran berkas elektron 2,2 mA selama 5 menit terjadi trip STT pada kondisi vakum 10-5 torr. MBE-PSTA
dapat dioperasikan cukup stabil pada teganan 200 kV dan arus berkas elektron 2 mA.
Kata Kunci : MBE, optimasi, arus berkas elektron, transport berkas elektron