PROSES PELAPISAN TiN DI PERMUKAAN LUAR KELONGSONG ZIRKALOI DENGAN DEPOSISI PLASMA

Penelitian peningkatan kinerja kelongsong elemen bakar reaktor daya berpendingin air dengan pelapisan TiN di permukaan luar kelongsong zirkaloi telah dilakukan. Pelapisan kelongsong dilaksanakan dengan proses deposisi plasma menggunakan peralatan DC sputtering reaktif. Lapisan di permukaan kelongsong zirkaloi diharapkan berfungsi sebagai lapisan pelindung yang akan meningkatkan ketahanan aus dan ketahanan terhadap korosi. Proses DC sputtering reaktif dilakukan di PSTA-Batan Jogjakarta menggunakan target tunggal titanium dengan campuran gas N2+Ar. Pengaturan kombinasi tegangan–arus dilakukan untuk mempertahankan plasma yang terbentuk pada tekanan chamber tertentu selama durasi proses yang divariasi antara 30 - 120 menit. Proses DC sputtering kelongsong zirkaloi-4 dengan target tunggal Ti berlangsung pada tegangan kerja 4 kV, arus antara 3-10 mA dengan kevakuman chamber sebelum proses deposisi antara 2,7x10-3 - 2,6x10-2 mmHg. Kelongsong zirkaloi hasil deposisi plasma diuji menggunakan alat XRD untuk memastikan fasa yang terbentuk di permukaan kelongsong. Kurva XRD dari kelongsong terlapis untuk masing-masing variasi durasi masih dalam proses pencocokan dengan kurva basis data dan belum diperoleh data fasa lapisan yang terbentuk di permukaan kelongsong zirkaloi.