PENGAMATAN EFEK GIANT MAGNETORESISTANCE PADA MULTILAYER SI(111)/CO/CU UNTUK APLIKASI SENSOR MEDAN MAGNET

PENGAMATAN EFEK GIANT MAGNETORESISTANCE PADA MULTILAYER Si(111)/Co/Cu
UNTUK APLIKASI SENSOR MEDAN MAGNET. Telah dilakukan preparasi dan karakteriasi sistem
lapisan tipis multilayer dari bahan logam peralihan yang bersifat magnetik Co dan logam konduktor Cu,
membentuk sistem lapisan tipis Si(111)/Co/Cu. Sistem lapisan tipis tersebut harus menunjukkan gejala
GMR (Giant Magnetoresistance) yang optimal, dan memiliki sifat in-plane anisotropy, yang dapat
diaplikasikan sebagai komponen utama sensor medan magnet. Preparasi lapisan multilayer dilakukan
dengan metode sputtering pada frekuensi radio 13,56 MHz, sedangkan karakterisasi meliputi kandungan
unsur menggunakan EDX, SEM, sifat magnetisasi/kurva histerisis pada arah EA dan HA, serta pengukuran
tahanan listrik yang merupakan realisasi efek GMR. Multilayer tersebut menunjukkan gejala GMR yang
cukup signifikan sekitar 20% pada medan luar sampai dengan 2500 gauss. Beberapa lapisan tipis memiliki
efek GMR bila tahanan listrik awal (Ro) berada pada orde 20 - 40 Ω., sedangkan pada R> 50 ohm pada
umumnya tidak menunjukkan efek GMR yang signifikan. Untuk aplikasi sebagai sensor medan magnet,
maka secara teori telah didapatkan daerah kurva yang linier, diperoleh pada medan rendah sekitar 1000
gauss, serta syarat in-plane anisotropy yang terpenuhi.