KARAKTERISASI HOME-MADE SUMBER ELEKTRON TIGA ELEKTRODA (TRIODA)

KARAKTERISASI HOME-MADE SUMBER ELEKTRON 3 ELEKTRODA (TRIODA). Telah dirancangbangun
sumber elektron (SE) 3 elektroda untuk MBE-lateks. Uji fungsi telah dilakukan namun karakteristik luaran berkas
elektron dari SE 3 elektroda belum diketahui. Pada makalah ini dilaporkan hasil karakterisasi modul SE 3 elektroda.
Metodologi karakterisasi meliputi pengukuran bentuk profil berkas elektron menggunakan bahan detektor pendar
dan pengukuran luaran arus berkas elektron menggunakan mangkok Faraday. Tiga konfigurasi anoda pemfokus
diamati bentuk profil berkas elektronnya pada tegangan pemercepat yang tetap dengan variasi tegangan anoda
pemfokusnya. Juga diamati pengaruh tegangan pemercepat untuk tegangan anoda yang tetap pada suatu
konfigurasi. Sedangkan luaran arus berkas elektron diukur sebagai fungsi tegangan ekstraksi pada arus filamen
yang tetap. Hasil eksperimen memperlihatkan bahwa luaran arus berkas elektron meningkat dengan kenaikan
tegangan anoda ekstraksi sampai dengan 3 kV kemudian terjadi saturasi diatas tegangan ini. Hasil karakterisasi
profil berkas elektron memperlihatkan bahwa tegangan anoda ekstraksi tidak begitu berpengaruh terhadap bentuk
profil berkas, sedangkan tegangan anoda pemfokus sangat berpengaruh terhadap bentuk profil berkas elektron,
namun pada tengangan pemfokus di atas 5 kV tidak besar pengaruhnya. Dapat disimpulkan bahwa SE 3 elektroda
berfungsi dengan baik, tegangan anoda pemfokus dominan terhadap bentuk profil, dan tegangan ekstraksi sangat
menentukan besarnya luaran arus berkas elektron.