RANCANG BANGUN SISTEM OTOMATISASI PROSES SPUTTERING DENGAN MIKROKONTROLER

RANCANG BANGUN SISTEM OTOMATISASI PROSES SPUTTERING DENGAN
MIKROKONTROLER. Salah satu peralatan sputtering di laboratorium Akselerator P3TMBATAN
Yogyakarta pengoperasiannya masih dilakukan secara manual. Pengoperasian secara
manual tersebut memiliki kelemahan yaitu ketelitian yang rendah dan pengoperasian yang tidak
praktis. Oleh karena itu telah dirancang suatu sistem kendali otomatis pada proses sputtering
berbasis mikrokontroler Sistem otomatisasi proses sputtering terdiri dari hardware dan software
yang meliputi tombol panel timer, modul mikrokontroler, display timer, modul opto-coupler dan
modul sensor suhu. Dengan menekan salah satu tombol panel timer maka display timer dan modul
opto-coupler akan aktif. Modul opto-coupler akan mengaktifan pompa vakum dan tegangan tinggi
DC. Sensor suhu difungsikan untuk menjaga agar elemen-elemen didalam tabung sputtering tidak
rusak, yaitu dengan cara menetapkan nilai suhu 70 0C di modul mikrokontroler dari suhu tabung
sebesar 80 0C. Pengujian dilakukan dengan mencari selisih waktu penelitian dengan waktu acuan.
Hasil sampel proses sputtering berupa Aluminium-Seng dengan melakukan pengujian pada XRF
diperoleh kesamaan ketebalan lapisan tipis sebesar 80 netto dengan selisih toleransi sebesar 2 %.
Sistem kendali manual yang ada dapat digantikan dengan sistem otomatis berbasis mikrokontroler
AT89C51. Ketelitian sistem pada timer 10 menit sebesar 99,9819 %, pada timer 15 menit sebesar
99,9909 %, pada timer 20 menit sebesar 99,9884 %, pada timer 25 menit sebesar 99,9936 % dan
pada timer 30 menit sebesar 99,9966 %.