PENGUKURAN DISTRIBUSI BERKAS ION KELUARAN MESIN IMPLANTASI ION DI P3TM-BATAN BERBASIS TEKNIK PENGOLAHAN CITRA

PENGUKURAN DISTRIBUSI BERKAS ION KELUARAN MESIN IMPLANTASI ION DI P3TMBATAN
BERBASIS TEKNIK PENGOLAHAN CITRA. Distribusi berkas pada mesin implantasi ion
akan berpengaruh pada hasil implantasinya. Ketidakmerataan berkas ion pada sistem target
dapat terjadi antara lain karena adanya penyimpangan berkas ion pada sistem pemercepat dan
lensa kuadrupol yang digunakan. Hal ini menyebabkan spot berkas ion tidak simetri terhadap
sumbu aksial dan membentuk simpangan ke arah sumbu x dan y . Untuk meningkatkan kualitas
distribusi berkas pada mesin implantasi ion perlu diketahui simpangan spot berkas ion pada
keluaran tabung pemercepat, keluaran lensa kuadrupol dan sistem target. Pada makalah ini
dilaporkan hasil pengukuran secara langsung distribusi berkas pada mesin implantasi ion di
P3TM-BATAN. Pengukuran dilakukan dengan memasang keping target aluminium yang dilapisi
kertas kalkir sebagai media perekam data berkas ion pada keluaran sistem pemercepat, keluaran
lensa kuadrupol dan sistem target mesin implantasi ion. Pengolahan citra dari berkas ion yang
dihasilkan dilakukan dengan pemrograman komputer menggunakan Matlab untuk menganalisa
distribusinya. Dari histogram citra berkas ion dapat diketahui distribusi berkasnya dan dari
perbandingan perhitungan dosis ion pada sistem target menggunakan SRIM didapat kesalahan
pengolahan citra berkas ion sekitar 15-20 persen.