PENGARUH WAKTU DAN SUHU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS TiN

PENGARUH WAKTU DAN SUHU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR
GAS TiN. Telah dilakukan penelitian mengenai pengaruh variasi waktu dan suhu deposisi
sputtering terhadap sensitivitas sensor gas TiN yang difabrikasi dengan teknik DC sputtering.
Variasi waktu dimulai dari 1; 1,5; 2; 2,5 dan 3 jam serta variasi suhu 150oC dan 300oC dengan
tegangan tinggi DC sebesar 2 kV dan arus 50 mA. Hasil eksperimen menunjukkan bahwa lapisan
tipis TiN yang dideposisi dengan parameter sputtering : tegangan 2 kV, arus 50 mA, tekanan 10-2
Torr, waktu 2 jam dan suhu 300 °C mempunyai sensitivitas optimun untuk mendeteksi gas CO.
Dari hasil pengujian sensitivitas menunjukkan bahwa sensor gas dari bahan TiN mempunyai
sensitivitas tertinggi terhadap gas CO dengan sensitivitas 76 % pada konsentrasi 5.575 ppm.
Kemudian dari hasil analisa unsur dan tebal lapisan TiN pada kondisi optimum menggunakan
SEM–EDS diperoleh masing-masing Ti sebesar (26,57 % atom), N (2,15 %) dan tebal lapisan TiN
sebesar ± 0,5 μm.