RANCANGAN DAN KONSTRUKSI BEAM SHUTTER MESIN BERKAS ELEKTRON 350 keV/20 mA

RANCANGAN DAN KONSTRUKSI BEAM SHUTTER MESIN BERKAS ELEKTRON 350
keV/20 mA. Telah dilakukan perancangan dan konstruksi beam shutter mesin berkas elektron
(MBE). Beam shutter merupakan salah satu bagian penting dari sistem MBE yang berfungsi
sebagai penyetop dan media pengukur berkas elektron sebelum dikenakan pada bahan target.
Beam shutter terdiri dari tiga bagian yaitu transmisi penggerak, lengan ayun dan penyetop berkas.
Pembuatan beam shutter meliputi penentuan rancangan bentuk, dimensi, bahan, gambar kerja dan
konstruksi. Lengan ayun berfungsi untuk membawa penyetop berkas dengan gerakan membuka
dan menutup terhadap jendela pemayar berkas. Bergerakanya lengan ayun karena adanya
transmisi penggerak yang terdiri dari piringan berengkol, roda gigi reduksi dan motor penggerak
150 watt. Lengan ayun dibuat dari bahan stainless steel, dengan panjang langkah gerakan
maksimum 20 cm. Sedangkan penyetop berkas dibuat dari bahan alumunium yang didalamnya
diberi aliran air sebagai pendingin dengan debit aliran 15–25 liter/menit. Setelah dikonstruksi,
pengujian beam shutter dilakukan dengan cara merangkai beam shutter pada corong pemayar
berkas. Hasil pengujian menunjukkan bahwa beam shutter dapat bergerak membuka dan menutup
dengan baik, dapat digunakan sebagai media pengukur arus berkas dan kondisi panasnya tidak
berlebihan, pada saat MBE beroperasi dengan tegangan 350 kV, arus berkas 5 mA (kondisi
operasi maksimum yang dapat dicapai pada saat pengujian).