Sujitno, Tjipto and Suhariadi, Iping and Abraha, Kamsul (2007) KAJIAN PEMBUATAN PROTOTIPE KAPASITIF-RESISTIF RH MIKROSENSOR BERBAHAN DIELEKTRIK Al2O3. In: Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya, 9 November 2007, Yogyakarta.
PROSIDING_TJIPTO S., IPING S., KAMSUL ABRAHA_PSTA_2007.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial.
Download (8MB) | Preview
Abstract
KAJIAN PEMBUATAN PROTOTIPE KAPASITIF-RESISTIF RH MIKROSENSOR BERBAHAN
DIELEKTRIK Al2O3
Telah dilakukan kajian pembuatan prototipe kapasitif-resistif RH mikrosensor
berbahan dielektrik aluminium oksida (Al2O3). Pendeposisian lapisan tipis Al2O3 dilakukan melalui teknik DC Sputtering konvensional. Pengujian dengan UV/Visible Spectroscopy dilakukan untuk menyelidiki
keadaan stoikiometri dan menentukan ketebalan dari lapisan tipis Al2O3 yang dihasilkan. Pengujian dengan
difraksi sinar-X dilakukan untuk mengetahui efek dari variasi suhu substrat terhadap struktur kristal lapisan
tipis Al2O3. Hasil pengkarakterisasian dari ketiga sensor menunjukkan karakter yang sama dimana ketiga
sensor tersebut sangat sensitif untuk kelembaban tinggi diatas 60% dengan respon waktu kurang dari 5
detik.
Kata kunci: lapisan tipis Al2O3, DC sputtering, kapasitif-resistif RH mikrosensor
| Item Type: | Conference or Workshop Item (Paper) |
|---|---|
| Subjects: | Taksonomi BATAN > Isotop dan Radiasi > Produksi Isotop dan Sumber Radiasi > Akselerator Taksonomi BATAN > Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir Taksonomi BATAN > Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir |
| Divisions: | BATAN > Pusat Sains dan Teknologi Akselerator IPTEK > BATAN > Pusat Sains dan Teknologi Akselerator |
| Depositing User: | Administrator Repository |
| Date Deposited: | 05 Jul 2018 08:21 |
| Last Modified: | 31 May 2022 03:38 |
| URI: | https://karya.brin.go.id/id/eprint/3297 |
Actions (login required)
- View Item