Taxwim, Taxwim and Sujitno, Tjipto and Sugiyanto, Mei (2007) PEMBUATAN DAN UJI COBA LAPISAN TIPIS ZnO:Al SEBAGAI PROTOTIPE SENSOR GAS DENGAN GAS UJI KARBON MONOKSIDA. In: Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya, 9 November 2007, Yogyakarta.
PROSIDING_TAXWIM, TIPTO SUJITNO, MEI SUGIYANTO_PSTA_2007.pdf - Published Version
Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial.
Download (8MB) | Preview
Abstract
PEMBUATAN DAN UJI COBA LAPISAN TIPIS ZnO:Al SEBAGAI PROTOTIPE SENSOR GAS DENGAN
GAS UJI KARBON MONOKSIDA. Telah dibuat suatu prototip sensor gas dengan mengunakan bahan
ZnO:Al di atas substrat alumina dengan menggunakan metode dc-reactive sputtering dan evaporasi.
Pembentukan pola lapisan elektroda emas dilakukan menggunakan metode lithografi. Karakterisasi sensor
telah dilakukan untuk menguji sifat tanggap gas CO. Karakterisasi sensor terhadap sifat tanggap gas CO
menunjukkan bahwa sensor dengan lapisan tipis semikonduktor ZnO:Al dapat mendeteksi adanya gas CO.
Sensor yang dibuat dapat beroperasi pada suhu sekitar 250°C. Sensitivitas sensor menunjukkan nilai
tertinggi sebesar 64,706%. Sensor memiliki waktu tanggap antara 90 – 180 detik.
Kata kunci : sensor gas karbon monoksida, lapisan tipis ZnO:Al, metode dc-reactive sputtering dan
evaporasi.
| Item Type: | Conference or Workshop Item (Paper) |
|---|---|
| Subjects: | Taksonomi BATAN > Isotop dan Radiasi > Produksi Isotop dan Sumber Radiasi > Akselerator Taksonomi BATAN > Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir Taksonomi BATAN > Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir |
| Divisions: | BATAN > Pusat Sains dan Teknologi Akselerator IPTEK > BATAN > Pusat Sains dan Teknologi Akselerator |
| Depositing User: | Administrator Repository |
| Date Deposited: | 05 Jul 2018 08:13 |
| Last Modified: | 31 May 2022 03:38 |
| URI: | https://karya.brin.go.id/id/eprint/3295 |
Actions (login required)
- View Item