PERANCANGAN OSILATOR DAYA UNTUK PENINGKATAN KAPASITAS TEGANGAN PEMERCEPAT MESIN IMPLANTOR ION

PERANCANGAN OSILATOR DAYA UNTUK PENINGKATAN KAPASITAS TEGANGAN PEMERCEPAT MESIN IMPLANTOR ION. Untuk memenuhi kebutuhan energi ion pada aplikasi perlakuan permukaan
bahan, khususnya untuk meningkatkan ketahanan bahan terhadap oksidasi suhu tinggi, telah dilakukan perancangan osilator daya untuk peningkatan tegangan pemercepat pada mesin implantor ion. Kegiatan ini dilakukan karena generator Cockroft-Walton sebagai sumber tegangan tinggi untuk pemercepat ion hanya mampu menghasilkan tegangan tinggi stabil sampai 100 kV. Sedangkan kebutuhan energi ion untuk
aplikasi tersebut minimal 150 keV, sehingga diperlukan tegangan pemercepat stabil minimal 150 kV. Peningkatan tegangan pemercepat dilakukan dengan meningkatkan kapasitas osilator daya sebagai bagian dari generator Cockroft-Walton. Konstruksi osilator daya yang lama dengan frekuensi osilasi dibawah 1 kHz dan komponen utama transistor BUX 48A direkonstruksi menggunakan komponen utana tabung trioda
ITL 5-l sehingga frekuensi osilasinya menjadi 25 kHz. (Untuk menunjang operasi tabung trioda tersebut maka telah dibuat sumber daya anoda 4500 V/3A dan sumber daya filamen 6V/40A. Osilator daya juga dilengkapi dengan trafo frekuensi tinggi sehingga tegangan keluaran maksimum dari osilator daya dapat
mencapai 15 kV.