EFEK PERUBAHAN TEGANGAN LENSA KUADRUPOL TERHADAP KUALITAS BERKAS ION PADA MESIN IMPLANTOR ION P3TM

EFEK PERUBAHAN TEGANGAN LENSA KUADRUPOL TERHADAP KUALITAS BERKAS ION PADA MESIN IMPLANTOR ION P3TM. Kualitas berkas ion dapat mempengaruhi hasil implantasi ion pada suatu
bahan. Salah satu faktor yang menentukan kualitas berkas ion tersebut adalah lensa kuadrupol sebagai salah satu komponen penanganan berkas ion yang berfungsi memfokuskan berkas ion pada bahan yang diimplantasi. Jenis lensa kuadrupol pada mesin implantor P3TM adalah lensa kuadrupol elektrostatik. Telah dilakukan pengamatan efek perubahan tegangan lensa kuadrupol terhadap kualitas berkas ion. Pengamatan dilakukan dengan cara mengukur arus berkas ion pada target dan merekam profil berkas ion menggunakan kertas kalkir dengan variasi tegangan lensa kuadrupol. Hasil pengukuran arus berkas ion menunjukkan tegangan lensa kuadrupol berpengaruh terhadap arus berkas ion yang sampai pada target. Dengan cuplikan udara diperoleh arus berkas ion optimum sebesar 62 uA pada tegangan lensa kuadrupol 5,45 kV (tegangan pemercepat 30 kV) dan 80 uA pada tegangan lensa kuadrupol 8,18 kV (tegangan pentercepat 60 kV). Dari hasil rekoman spot berkas ion menunjukkan adanva perubahan bentuk spot berkos ion terhadap
perubahan tegangan lensa kuadrupol. Ternyata spot berkas ion pada target yang diperoleh pada tegangan lensa kuadrupol 5,45 kV dan 8,18 kV belum minimum berbentuk lingkaran.