Dimensions
DimensionsSiswanto, Bambang and Wirjoadi, wirjoadi and Atmono, Trimardji and Yunanto, yunanto (2006) KARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS a-Si:H:B UNTUK BAHAN SEL SURYA. Ganendra, 9 (2). pp. 31-37. ISSN p-ISSN: 1410-6957, e-ISSN: 2503-5029
174-310-1-SM.pdf - Published Version
Download (369kB) | Preview
Abstract
KARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS a-Si:H:B UNTUK BAHAN SEL SURYA. Telah dideposisikan
lapisan tipis a-Si:H:B pada substrat kaca dengan menggunakan teknik plasma sputtering DC. Deposisi dilakukan
untuk beberapa parameter proses yang meliputi: waktu deposisi, tekanan gas dan suhu substrat dengan tujuan dapat
diperoleh beberapa lapisan tipis a-Si:H:B yang mempunyai sifat optik yang sesuai untuk bahan sel surya. Variasi
waktu deposisi (0,5 s/d 2 jam), tekanan gas (1,1 s.d 1,4×10-1 torr) dan suhu substrat (150 s.d 300 oC), sedangkan
aliran gas reaktif hidrogen ditetapkan sebesar 4 sccm. Target dari bahan silikon yang telah dicampur boron dengan
konsentrasi (0,1, 0,3, 0,50, 0,7) % berat. Dari analisa sifat optik menggunakan spektrofotometer UV-Vis diperoleh
transmitansi optik maksimum 47 % yang diperoleh pada panjang gelombang 700 nm. Koefisien serapan dan lebar
energi gap untuk lapisan tipis a-Si:H:B masing-masing sebesar 3,49×104 m-1 dan 1,77 eV.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Subjects: | Taksonomi BATAN > Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir > Teknologi Proses Fasilitas Nuklir > Proses Non Nuklir Taksonomi BATAN > Rekayasa Perangkat dan Fasilitas Nuklir > Teknologi Proses Fasilitas Nuklir > Proses Non Nuklir |
| Divisions: | BATAN > Pusat Sains dan Teknologi Akselerator IPTEK > BATAN > Pusat Sains dan Teknologi Akselerator |
| Depositing User: | Administrator Repository |
| Date Deposited: | 16 May 2018 08:24 |
| Last Modified: | 31 May 2022 03:42 |
| URI: | https://karya.brin.go.id/id/eprint/1868 |
Actions (login required)
- View Item