Analisa struktur mikro material dengan berkas elektron dan ION

Adanya kebutuhan analisa material yang makin akurat menuntut suatu metoda analisis yang dapat menganalisa struktur mikro secara lebih teliti dan presisi. Dalam makalah ini disampaikan secara sistematik metoda-metoda analisa dengan berkas elektron dan berkas ion. Selain itu disampaikan pula beberapa contoh analisis dengan metoda yang sering digunakan berdasarkan keuntungan-keuntungan dan problematika yang ada untuk memperoleh informasi lengkap tentang material yang dianalisa. Dengan adanyaperbandingan beberapa metoda analisa struktur mikro tersebut diharapkan dapat memberikan gambaran yang mudah dan cepat tentang metoda-metoda apa yang akan digunakan untuk analisis material