Items where Author is "Sayono, S"

Article

Sayono, S and Darsono, D and Tjipto Suyltno, TS and Toto Trikasjono, TT (2000) PENGARUH DOSIS ION OKSIGEN YANG DIIMPLANTASIKAN KE DALAM SEMIKONDUKTOR SILIKON PADA TENAGA 100 keY TERHADAP PEMBENTUKAN LAPISAN ISOLATOR SiO2 TERKUBUR. PENGARUH DOSIS ION OKSIGEN YANG DIIMPLANTASIKAN KE DALAM SEMIKONDUKTOR SILIKON PADA TENAGA 100 keY TERHADAP PEMBENTUKAN LAPISAN ISOLATOR SiO2 TERKUBUR, 2 (1). pp. 109-115. ISSN 14ll-1349