ANALISIS KELUARAN BERKAS ARUS MBE 350 kV/20 mA

ANALISIS KELUARAN BERKAS ARUS MBE 350kV/20mA. Telah dilakukan analisis arus keluaran MBE di
target dengan cara mengukur arus berkas elektron di penyetop berkas. Arus berkas elektron ini diukur
setelah melewati jendela foil setebal 50 μm dan jarak jendela ke target 10 cm di udara atmosfir.
Pengukuran arus elektron dengan berbagai arus filammen sumber elektron dari 9 A sampai 13 A dilakukan
pada tegangan pemercepat 200 kV dan 230 kV. Arus berkas elektron di target mengalami keadaan jenuh
pada arus filamen sekitar 11,5 A. Dilakukan juga pengukuran arus berkas elektron dengan tegangan
pemercepat yang bervariasi pada arus filamen sumber elektron berbeda. Hasil pengukuran menunjukkan
bahwa, pada arus fillamen sumber elektron 10,5 A dan 12 A dan tegangan pemercepat diturunkan sampai
160 kV, diperoleh pengukuran arus elektron di target 100 μA dan 300 μA. Kalau tegangan pemercepat
diturunkan terus, maka arus elektron menjadi nol. Pada saat MBE beroperasi dengan sumber daya
tegangan tinggi maksimum 340 kV/11,5 mA, dimana arus filamen sumber elektron mencapai 12 A, arus
berkas elektron di target mencapai 4,5 mA atau sekitar 30% - 40% dari arus sumber tegangan tinggi MBE.