EFEK DOPING PALADIUM (Pd) PADA PERMUKAAN ZnO SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS TERHADAP SENSITIVITAS GAS NH3, CO, C2H5OH DAN HNO3

EFEK DOPING PALADIUM (Pd) PADA PERMUKAAN ZnO SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS TERHADAP
SENSITIVITAS GAS NH3, CO, C2H5OH dan HNO3. Telah dilakukan penelitian efek doping ion paladium
(Pd) dengan variasi energi: 20, 40, 60, 80 dan 100 keV dan dosis: 0,896 × 1016 ion/cm2; 1,194 × 1016
ion/cm2; 1,493 × 1016 ion/cm2; 1,791 × 1016 ion/cm2 dan 2,089 × 1016 ion/cm2 terhadap permukaan lapis tipis
ZnO sebagai bahan sensor gas. Untuk mengetahui keberhasilan efek doping paladium pada permukaan lapis
tipis ZnO dilakukan pengukuran resistansi dan sensitivitas sebagai fungsi suhu sensor dengan gas uji NH3;
CO, C2H5OH dan HNO3. Dari percobaan diperoleh nilai resistansi dan sensitivitas terbaik pada dosis
:1,791 × 1016 ion/cm2 dan energi 100 keV. Adapun besarnya nilai resistansi adalah 970 kΩ dengan
sensitivitas terbaik untuk gas NH3 (17,13 ± 1,7)% pada suhu sensor 325 °C dengan konsentrasi 2100 ppm.
Kemudian dari analisa unsur lapisan tipis ZnO+Pd pada kondisi optimum menggunakan EDAXS diperoleh
masing-masing : 80,15%/wt Zn, 19,65%/wt O dan 0,20%/wt Pd.