DEPOSISI LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA STAINLESS STEEL 316 MENGGUNAKAN METODE DC SPUTTERING

DEPOSISI LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA STAINLESS STEEL 316 MENGGUNAKAN
METODE DC SPUTTERING. Deposisi lapisan titanium nitrida dilakukan untuk meningkatkan umur pakai dari
stainless steel 316 yang sering digunakan dalam lingkungan korosif serta memiliki temperatur tinggi. Penelitian ini
difokuskan terhadap pengaruh lapisan TiN terhadap sifat kekerasan dan ketahanan korosi. Metode yang digunakan
dalam penelitian ini adalah DC sputtering dengan parameter waktu dan perbandingan gas yang dialirkan serta
menggunakan tekanan pada orde 10-2 mbar. Waktu yang digunakan adalah 30, 60, 90, 120 dan 150 menit dengan
perbandingan gas 50Ar:50N, 60Ar:40N, 70Ar:30N, 80Ar:20N dan 90Ar:10N. Waktu optimum untuk proses deposisi
adalah 90 menit dengan perbandingan gas 70Ar:30N. Laju aliran gas argon sebesar 55,8 ml/min dan laju gas
nitrogen 164 ml/min. Nilai kekerasan maksimum yang diperoleh sebesar 145 VHN dengan faktor koreksi sebesar
0,995. Nilai laju korosi terkecil adalah sebesar 0,12 mpy dimana terjadi peningkatan 700 % dari raw material.
Lapisan tipis TiN terbentuk pada substrat dengan intensitas rendah yaitu pada bidang 111, 200 dan 202.
Kata kunci : stainless steel, DC Sputtering, Titanium Nitrida