MODIFIKASI SUMBER ELEKTRON DAN SIMULASI LINTASAN BERKAS ELEKTRON PADA TABUNG PEMERCEPAT MBE DI PSTA

MODIFIKASI SUMBER ELEKTRON DAN SIMULASI LINTASAN BERKAS ELEKTRON PADA TABUNG
PEMERCEPAT MBE DI PSTA. Telah dilakukan modifikasi sumber elektron dan simulasi lintasan berkas
elektron. Sumber elektron merupakan bagian utama dari mesin berkas elektron yang berfungsi untuk
membangkitkan elektron dan dibentuk menjadi berkas elektron, berkas elektron selanjutnya dipercepat di dalam
tabung akselerator. Modifikasi sumber elektron dan simulasi lintasan berkas elektron dilakukan dengan tahapan:
perhitungan ulang emisi dan ekstraksi elektron, simulasi dan analisis lintasan berkas. Simulasi berkas elektron
menggunakan program Opera 3 D dengan beberapa konfigurasi antara lain: (i) katode, elektrode pemfokus dan
dudukan anode dihubungkan (anode dilepas), (ii) katode dan elektrode pemfokus dihubungkan serta anode
dipasang dengan variasi tegangan ekstraksi atau tegangan katode-anode pada 5 kV, 10 kV dan 15 kV. Dari hasil
modifikasi sumber elektron dan simulasi lintasan berkas elektron diperoleh bahwa perhitungan ulang emisi
elektron dapat mencapai arus berkas elektron 55,98 mA pada suhu operasi katode 2200 K dan untuk arus berkas
elektron 171,7 mA pada suhu operasi katode 2300 K. Simulasi lintasan berkas elektron mulai dari sumber
elektron sampai keluar tabung akselerator tidak terjadi tumbukan antara berkas elektron dan elektrode tabung
akselerator, walaupun untuk tegangan katode-anode 5 kV dan 10 kV lintasan berkas elektron terjadi titik fokus dan
persilangan dengan sumbu berkas serta menyebar kembali. Tetapi untuk tegangan katode-anode 15 kV, lintasan
berkas elektron terfokus dan tidak terjadi persilangan dengan sumbu berkas.
Kata kunci: sumber elektron, lintasan berkas elektron, mesin berkas elektron.